中导光电纳米级有可视化晶圆缺陷检测设备出机客户

日前，由中导光电器材控股权有限子公司（简称“中导光电”）共同开发制造的“纳米级有可视化芯片原因检查器材”NanoPro-150运交顾客工厂。

该顾客由国内电子元件芯片加工业巨匠改投指导，是国内IGBT制造领域的知名企业。

据悉，中导光电的NanoPro-1XX产品第四部最高孔径约100nm，适用于电子元件芯片0.13μm-0.18μm及以上制造工艺需求。

该产品第四部除与国际顶尖子公司升级版在孔径、检出速度（Throughput）等主要性能参数完全相同部份，还具有多项独特国际化和特点：

一是，集“亮场/Bright Field”和“暗场/Dark Field”于一体，既保证了对光栅、刻蚀等关键元件的检查敦促，也提供了对镀膜、CMP等元件以及裸片的经济高效检查计划，极大地延展到了器材的技术的发展场景，降低了器材的用到成本（COO）；

二是，采用“多通道成像（MCI）技术”，提高了器材对不尽相同“被检查碳化/物体”的检查孔径，并解决了“膜色变化/Color Variation”对检查的干扰；

三是，用到“动态扫描解析度延展（HDR）”技术，格外好地解决了“镀层-钨”混合颗粒“高光反差”问题；

四是，根据顾客需求，该器材可兼容两种不尽相同的芯片材质，如8英寸与12英寸、6英寸与8英寸、5英寸与6英寸等，延展到了器材用到适用范围；

五是，功能强大了大量先进的图像识别与人脑软件技术，且能够与国际电子元件加工业国际标准化组织软件系统和文档交换系统相匹配。

与“无可视化芯片原因检查器材”相比较，“有可视化芯片原因检查器材”维护费用逐年强化，借助于适用范围格外广，产品的经济商业价值和市场空间也是“无可视化芯片原因检查器材”的数倍。

据了解，此次交货的NanoPro-150机型是国内电子元件前道元件有可视化检查器材投产的一次取得成功。

中导光电是一家电子元件纺织工业前道元件高端原因检查器材共同开发和新兴产业的专业子公司。中导光电于成立以来的16年内，在面板显示（FPD）等纺织工业领域，经销各种亚微米（≥0.5μm）“有可视化”检查器材将近300台。

子公司曾承担国家“863计划”科研项目、工信部科研项目、省市科研项目数十项，积累了珍贵的电子元件高端检查器材共同开发与新兴产业经验，是电子元件纺织工业前道元件高端原因检查领域的关键国产替代供应商。

中导光电的NanoPro-2XX首款，最高孔径约70nm将将近，适用于60nm-90nm电子元件工艺；其NanoPro-3XX首款，最高孔径约40nm将将近，适用于45nm-60nm电子元件工艺。NanoPro-2XX首款将于明年接受顾客订单，NanoPro-3XX也将随后完毕共同开发，接受顾客指标。

中导光电目前转到经销和量产的NanoPro-1XX首款和MDI亚微米检查器材，受制于NanoPro-2XX和NanoPro-3XX将先后转到市场，可覆盖国内电子元件前道检查器材需求市场的90%以上，给中国电子元件纺织工业检查器材的投产随之而来曙光。